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潔凈室的定義、分類(lèi)和怎樣來(lái)設置

發(fā)布時(shí)間:2019-6-3 文章來(lái)源:上海果綠過(guò)濾材料科技有限公司

 

 

潔凈室的發(fā)展與現代工業(yè)、尖端技術(shù)密切聯(lián)系在一起。由于精密機械工業(yè)(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導體工業(yè)(如大規模集成電路生產(chǎn))等對環(huán)境的要求,促進(jìn)了潔凈室技術(shù)的發(fā)展。國內曾統計過(guò),在無(wú)潔凈級別的要求的環(huán)境下生產(chǎn)MOS電路管芯的合格率僅10%~15%,64位儲存器僅2%。目前在精密機械、半導體、宇航、原子能等工業(yè)中應用潔凈室已相當普遍。后來(lái)慢慢地在各行各業(yè)開(kāi)始應用和普及,食品,生物制藥,化妝品,醫院,實(shí)驗室,通信設備等等,都需要有潔凈的工作環(huán)境。

 

那么什么是潔凈室呢?

潔凈室系指對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數根據需要都進(jìn)行控制的密閉性較好的空間。

 

 

潔凈室的分類(lèi)

按氣流的流動(dòng)狀態(tài)分,可以分為以下三類(lèi):

1) 非單向流潔凈室:以前常稱(chēng)為亂流型潔凈室,室內的氣流并不都按單一方向流動(dòng)。非單向流潔凈室有幾個(gè)共同的特點(diǎn):終端過(guò)濾器(高效或亞高效)盡量接近潔凈室,它可以就是送風(fēng)口或直接連送風(fēng)口,也可以接到房間的送風(fēng)靜壓箱上;回風(fēng)口均設在潔凈室的下部,目的是避免出現揚灰現象。非單向流潔凈室中都有渦流存在,不適宜用于高潔凈度的潔凈室中,宜用于6-9級的潔凈室中。

2) 單向流潔凈室:?jiǎn)蜗蛄鳚崈羰覛饬鞯奶卣魇橇骶(xiàn)平行,以單一方向流動(dòng),并且在斷截面上風(fēng)速一致,有垂直單向潔凈室,準垂直單向流,水平單向流潔凈室等。

3) 矢量潔凈室:在房間的側上角送風(fēng),采用扇形高效過(guò)濾器,也可以用普通高效過(guò)濾器配扇形送風(fēng)口,在另一側的下部設回風(fēng)口,房間的高長(cháng)比一般在0.5-1之間為宜。這種潔凈室也可以達到5級(100級)潔凈度。

潔凈室的流型基本上是上述三種類(lèi)型,但是實(shí)際應用時(shí)可演變出很多形式。潔凈室可以是單向流和非單向流組合在一起的混合流型,以在局部區域(單向流部分)實(shí)現高級別的潔凈室。例如,在潔凈室中設水平單向流的“隧道”(一側敞開(kāi)),潔凈室的其余部分是渦流的單向流流型,從而實(shí)現“隧道”部分達到5級以上潔凈度,工作臺就設在隧道內。

 

按受控粒子的性質(zhì)劃分

1)工業(yè)潔凈室:受控粒子為塵埃等非生物粒子的潔凈室。

2)生物潔凈室:受控粒子為生物粒子的潔凈室。

 

 

潔凈室氣流組織考慮原則

1) 當產(chǎn)品要求潔凈度為100級時(shí),選用層流流型;當產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級時(shí),選用亂流流型。

2) 減少渦流,避免把工作區以外的污染物帶入工作區。

3) 為了防止灰塵的二次飛揚,氣流速度不能過(guò)大。亂流潔凈室的回風(fēng)口不應設在工作區的上部。宜在地板上或側墻下部均勻布置回風(fēng)口。

4) 工作區的氣流應均勻,流速必須滿(mǎn)足工藝和衛生的要求;潔凈氣流應盡可能把工作部位圍罩起來(lái),使污染物在擴散之前便流向回風(fēng)口。

5) 工作設備布置時(shí)要留有一定的間隔,為送、回風(fēng)口的布置和氣流的通暢創(chuàng )造條件:氣流組織設計時(shí)要考慮高大設備對氣流組織的影響。

6) 潔凈工作臺不宜布置在層流潔凈室內。當布置在亂流潔凈室時(shí),宜將其置于工作區氣流的上風(fēng)側,以提高室內的空氣潔凈度。

7) 潔凈室內有通風(fēng)柜時(shí),宜置于工作區氣流的下風(fēng)側,以減少對室內的污染。

 

 

潔凈室設計對生產(chǎn)工藝的要求

1) 潔凈環(huán)境是為生產(chǎn)工藝服務(wù)的,潔凈室設計必須滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝的環(huán)境要求,這是理所當然的。因此,在潔凈室設計時(shí)生產(chǎn)工藝對環(huán)境參數的要求應該實(shí)事求是,其面積、層高,溫度、濕度,潔凈度等應該高則高,該低則低,并非越高越好。在不影響生產(chǎn)工藝正常運行的前提下盡可能地降低參數要求,控制凈化面積,縮小高凈化級別潔凈區的范圍,嚴格控制100級和更高級別單向流潔凈區的面積。

2)在生產(chǎn)工藝平面區劃時(shí)盡可能把相同級別的潔凈房間布置在一起,把潔凈度要求高的工序設置在上風(fēng)側,把產(chǎn)生粉灰、有毒、有害、易燃、易爆廢氣的工藝設備、容器盡可能放在潔凈區外,若必須放在潔凈區內時(shí)應盡量采取密閉措施以減少粉塵和廢氣的排放量。

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